Flerbuemål av metall med høy renhet

Metall og legering multi-bue runde mål

1.Renhet: 2N8,3N,3N5.4N,4N5,5N

2. Teknikk og overflate: Smidd, slipt, skinnende lys overflate, HIP

3. Form/form: sirkulær/plan/rørformet/rund/plate/rør, spesiallaget i henhold til tegning

4.Størrelse:

Rund diameter: 60~1000mm, tykkelse: 10~1500mm

Platetykkelse (15~30)*bredde(50~1500)*lengde (100~2000)mm

Rør OD: 20~300mm, tykkelse: 5~60mm, lengde: 50~2000mm

Andre relaterte

Flat/rund høy renhet 99,99 % til 99,995 metallmålmateriale Chromium Cr sputteringmål

Metall: Ti, Ni, Cu, Co, Cr, Al, Fe, V, Zn, Sn, W, Mo, Ta, Nb, Zr, Hf, Ge, Bi, Sb, Mg, Mn og etc.

Metalllegeringsmål: Mo, Zr, Ta,Nb, NbZr, Ni,Si,Sn, NiGr(8:2), NiGr(95:5),NiV, NiCu, NiCr, NiFe, TiAl, AlCr, SiAl, CoFe, CoCr, VFe, TiCr, TiV, NiTi, NbTi, WTi, WCu, SiGe, CoTaZr, CuNiMn og etc. spesiallegeringer kan tilpasses.

Sjeldne jordmål: Sc, Y, La, Ce, Gd, Tb, Dy, Nd, Sm, Er, Tm, Yb og etc. andre legeringer kan tilpasses.

Metall med høy renhet: Ni, Ti, Al, V, Co, Cu, Ta, Nb, W, Mo, Cr, Ag, Au og etc.

Metalldigel: W, Mo, Ta, Nb, Cu og etc
Metallkjegle: Ni, Ti, Co, Cr, Ta, Nb, W, Mo og etc.

applikasjon

Target refererer til en forstøvningskilde som kan sputtere forskjellige funksjonelle tynne filmer på et underlag (glass, PET, etc.) under passende prosessforhold gjennom en magnetronforstøvning, flerbue-ion-plettering eller annet beleggsystem.

Magnetronforstøvningssystemet plasserer en gaussisk kraftig magnet bak det negative målet, og vakuumkammeret er fylt med en viss mengde inert gass (Ar) som utladningsbærer. Under påvirkning av høyt trykk ioniserer Ar-atomer til Ar+-ioner og elektroner, noe som resulterer i en plasmaglødutladning. Under akselerasjonen av flua til underlaget påvirkes elektronene av magnetfeltet vinkelrett på det elektriske feltet, som avleder elektronene og er bundet til overflaten nær målet. I plasmaområdet beveger elektronene seg langs måloverflaten i en spiralform, og kolliderer konstant med Ar-atomer under bevegelsen, og ioniserer en stor mengde Ar+-ioner. Etter flere kollisjoner avtar elektronenes energi gradvis, blir kvitt de magnetiske kraftlinjene, og faller til slutt på underlaget, den indre veggen av vakuumkammeret og målkilden.

Populære tags: